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高杨; 蔡洵; 贺学锋; 刘海涛;
中国工程物理研究院电子工程研究所;
西南科技大学信息工程学院;
重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室;
中国工程物理研究院太赫兹科学技术研究中心;
体声波; 滤波器; 射频探针台; 矢量网络分析仪; 低阻硅;
机译:片上静电致动弯曲测试,用于在微观尺度上表征多晶硅的机械性能
机译:用于薄膜体声波谐振器的沉积在Mo电极上的AlN薄膜的性能表征
机译:使用多孔硅上的CPW和慢波CPW传输线的高性能片上低通滤波器
机译:60 GHz完全集成的CMOS次谐波RF接收器,具有毫米波片上AMC天线/巴伦滤波器和晶圆上无线传输测试
机译:增强低指导和混合等离子体波导:片上极化管理的性能和应用
机译:通过片上测试对多晶硅膜进行微机械表征
机译:具有高性能梯形拓扑的体声波滤波器设计
机译:超声波速度环绕鳍片附近流场的表征
机译:薄层体声波滤波器用于3G移动技术的耦合谐振器滤波器和导体或网格滤波器部分集成在通用基板上
机译:片上和高速测试仪,用于测试和表征不同类型的存储器
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