Pt-WO3薄膜气敏传感器的气敏性能研究

摘要

用直流反应磁控溅射法制备了Pt-WO3气敏薄膜，进行了薄膜晶体结构和表面形貌的分析，研究了添加Pt对WO3电学和气敏特性的影响。实验证明：当Pt膜厚为4nm时，WO3薄膜对气体的敏感特性得到改善，对φ（NO2）=5×10^-6和φ（NH3）=10×10^-6的工作温度均降低了50℃，灵敏度分别达到11．5和900，是纯WO3薄膜的2～3倍，且响应时间缩短。