单振子多自由度压电马达研究

摘要

提出用单一振子产生多自由度运动的压电马达的设想 ,分析了产生多自由度运动的原理 ,设计、研制了矩形板式、圆环式多自由度压电马达的结构 ,并进行了实验研究。实验结果证明能够实现预想的多自由度运动。