基于ZnO/Si结构的声表面波器件设计研究

摘要

微机电系统(MEMS)工艺已被广泛用于制造各种硅基薄膜器件。声表面波(SAW)器件是性能优良的MEMS器件。该文利用多物理耦合场软件COMSOL Multiphysics仿真了氧化锌/硅(ZnO/Si)结构SAW谐振器,并得到其S11参数。对应于仿真,该文制造了该种结构的SAW器件。实验所用的ZnO通过射频磁控溅射制备,所制备的ZnO具有良好的(002)取向。实验测得的ZnO/Si结构SAW器件的中心频率为111.6MHz,与仿真结构接近。