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孙贤; 谢易微; 许绍俊; 杨成韬;
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室;
四川成都611731;
磁控溅射; 氮氩比; Er掺杂AlN薄膜; c轴择优取向; SAW滤波器;
机译:磁控溅射中氩氧流量比对SnO 2 sub>薄膜形貌和吸湿性能的影响
机译:氩/氧流量比对直流磁控溅射纳米晶钛酸锆薄膜的影响
机译:衬底温度和氧/氩流量比对射频磁控溅射制备的GZO薄膜的电学和光学性能的影响
机译:氧/氩流量比对反应磁控溅射等离子体中TiO 2 inf>薄膜生长的影响
机译:液态深冷系统中的振动能量存储和传递碳一氧化氮,氮,氮-碳一氧化氮,氩-碳一氧化氮和氩-碳一氧化氮-氧。
机译:通过磁控溅射中氮流量的氮气流量调节的Ti-Zr三元氮化物薄膜的结构组成和等离子体特性
机译:不同氮流量比对反应磁控溅射制备(Hf:N)-DLC薄膜光学性质的影响
机译:含氮,氩,氮和氩离子束合成含硅类金刚石碳(si-DLC)涂层的磨损和摩擦学性能
机译:用于操作纯氩塔的方法,包括将含氮氩气流引发到纯氩塔的上部或中部区域,从该上部或中部将氩塔的下部区域抽出成纯氩产品。
机译:碳水化合物组合物对血糖反应的影响比对血糖反应的影响更大
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