基于螺旋叉指电极的压电圆盘扭转致动器

摘要

为了获得高谐振频率、大扭转角的驱动元件,设计了一种新型的压电圆盘扭转致动器。以直径33mm、厚0.2mm的压电陶瓷圆盘作为基体,并在其一侧沉积上环形金属银膜,通过激光将金属膜刻蚀出21对螺旋形的叉指电极线,电极间距为0.97mm,宽约为110μm,样品在3kV/mm电场下极化30min。实验结果表明,样品的扭转谐振频率可达225.6kHz,在驱动电压峰-峰为10V的条件下,最大扭转角度可达0.0184°。