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高杨; 何婉婧; 李君儒; 黄振华; 蔡洵;
中国工程物理研究院电子工程研究所;
重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室;
西南科技大学信息工程学院;
薄膜体声波谐振器; 传感器; 换能器; 微机电系统(MEMS); 读出电路; 六端口反射计;
机译:基于ZnO薄膜的基于体声波谐振器的薄膜相对湿度传感器
机译:薄膜体声波谐振器的研究进展
机译:横向场激励和单片螺旋线圈声换能体声波传感器平台的最新进展
机译:新型体声波传感器读出电路的实验验证
机译:散装声波器件利用氧化锌薄膜薄膜数字传感器。
机译:用于葡萄园电子遮盖特性的超声波和LIDAR传感器:改进农药施用方法的进展
机译:薄膜体声波谐振器(FBAR)的制造,与CMOS技术的异构集成以及传感器应用/
机译:微型薄膜BaW(体声波)谐振器及滤波技术的发展进展。
机译:压电声薄膜谐振器用作生物传感器的薄膜体声波谐振器具有压电陶瓷层,该压电陶瓷层具有压电陶瓷材料,其极性晶体轴相对于基板法线倾斜大约特定的倾斜角度
机译:压电体薄膜部件和超声波传感器,以及制造方法,其特征在于:
机译:基于薄膜体声波谐振器的乙醇和丙酮传感器及其使用方法
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