角位移和线位移圆度误差分离技术的比对分析

摘要

分析了采用角位移三点法和线位移三点法测量工件圆度误差时 ,两种方法权函数的频域特性 :谐波抑制特性、测量系统权函数总体特性和对噪声的敏感特性 .结果表明 ,角位移三点法存在0阶、1阶谐波抑制 ,且该测量系统的权函数有高通特性 ,这些特性不利于提高属于低频信号范围的圆度误差的测量精度 。