K波段BAW器件技术研究

摘要

通过优化高频换能器设计、极薄压电薄膜制备等技术,试制出了K波段BAW延迟线样品。其工作中心频率为23.8GHz,插入损耗为51.9dB,带宽为1 122MHz,延迟时间为299ns,直通抑制为29dB,3次渡越抑制为40dB。