Ni掺杂对钛酸锶钡铁电薄膜性能的影响

摘要

在醋酸水溶液体系中采用溶胶-凝胶法在P t/T i/S iO2/S i(100)衬底上制备了未掺杂和掺N i的钛酸锶钡(BST)薄膜,研究了N i的加入对BST薄膜的结构和电学性能的影响。试验结果表明,随着N i加入量的增加,BST薄膜的晶粒尺寸减小,介电常数减小,介电损耗降低;当N i的加入量在10%(摩尔分数)时,薄膜的介电常数、介电损耗、可调性和FOM分别为230.25、0.015、30.8%、20.53。研究结果表明,适量掺N i的钛酸锶钡薄膜能满足可调微波器件的要求。