石英力传感器的弹性机芯结构

摘要

提出了一种新型的双平行四连杆柔性铰链弹性导向结构，用作石英力传感器的力导向元件。这种采用柔性铰链连接双平行四连杆形成单方向位移的弹性导向机构，有着优良的机械性能：无机械摩擦，无间隙，运动灵敏度高，导向精度高，能自动消除偏载影响。文中对其在正常载荷及偏载下的响应进行了详细讨论，给出了导向位移及偏移误差和采用这种结构的石英力传感器的应用结果。