硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统的建立

摘要

文中的工作属于MEMS计算机辅助设计 (CAD)中的一部分内容。介绍了如何建立硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统 ,给出这个工艺模拟系统的结构框图 ,并就已给出框图中几个重要的方面进行了叙述。在这个框图的基础上 ,用C语言编写出了相应的模拟硅各向异性腐蚀工艺的软件 ,并给出软件的界面和演示结果。结果表明硅各向异性腐蚀三维计算机模拟系统建立的合理性。