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用Li_2B_4O_7晶体为基片的光刻腐蚀研究

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介绍了以Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７晶体为声表面波器件基片材料的光刻腐蚀方法，对产生的几种主要缺陷进行了分析讨论．

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来源
《压电与声光》 |1996年第1期|67-69|共3页
作者
周亚栋; 何先莉;
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作者单位

北京工业大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类声光器件;光刻、掩膜;
关键词
晶体; 声表面波; 光刻; 腐蚀; 基片;

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