柔性衬底表面沉积透明导电氧化物薄膜弯曲特性研究进展

摘要

柔性衬底表面沉积TCO薄膜具有许多独特的优点,应用广泛.但其在应用过程中常处于弯曲状态,膜层内残余应力因此变得显著,性能稳定性下降,大大影响和限制了其正常使用.本文就柔性衬底表面沉积TCO薄膜在弯曲状态下性能稳定性的实验方法进行了归纳,同时对改善柔性衬底表面TCO薄膜弯曲状态下性能稳定性的研究情况进行了介绍,并对未来的研究方向提出了个人看法.