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声表面波器件和薄膜光学器件的制造工艺(一)

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＜正＞评述了光刻、电子蚀刻、X射线蚀刻、离子轰击蚀刻和剥离工艺,并评价了用这些工艺制造声表面波和薄膜光学器件的优缺点。一、引言八年以前,所有声波器件都处于固体棒或固体块的形式。随着叉指式电极表面波换能器的问世

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《压电与声光》 |1977年第1期|124-139|共16页
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