离子氮化过程中气压的作用

摘要

＜正＞ 离子氮化是在含氮的低压气氛中,利用辉光放电时离子轰击的能量实现的。离子氮化层的形成过程,直接与辉光放电的基本过程有关。影响这个基本过程的工艺参数很多,包括气氛成份、气压、温度、时间、电流和电压等,研究各个参数如何对氮化层的形成过程产生影响,是制定离于氮化工艺的依据。国内外对离子氮化过程中气压的作用,