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微细加工技术

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＜正＞现状综述——提高加工尺寸的精度,是研制超大规模集成电路的一个关键问题。如果不增加实装所需要的空间而要进行大规模集成化,只有改变器件的种类,因此必须进行微细加工。进行微细加工时的困难,在于不但加工

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《压电与声光》 |1978年第4期|127-128|共2页
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