在锗酸铋单晶上制作楔状波导的化学腐蚀技术

摘要

本文研究了锗酸铋(Bi12GeO20)的化学腐蚀技术。这种简易快适的化学腐蚀法可用于楔状波导的制作。腐蚀溶液由浓盐酸（HCl）、浓双氧水（H2O2）和5克分子氯化铵（NH4Cl）混合制成。制作在（110）面上的楔状波导（尺寸为0.3毫米至几微米）为梯形截面,在HCl的含量较高、腐蚀时间较长的情况下,截面为三角形。矩形楔状波导也制作在（100）面上,但它只适用于小尺寸（几个微米）的楔状波导,因为深腐蚀会在表面上出现腐蚀坑而使表面变得粗糙。