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三露常男; 山崎攻; 王大春;
松下电器公司材料研究所;
机译:AlN薄膜的微区压电性能研究及高频声表面波器件的制造
机译:低压射频磁控溅射法形成c轴平行取向ZnO薄膜及其在声表面波和兰姆波器件中的应用
机译:后退火对磁控溅射制备的基于ZnO薄膜的声表面波器件的影响
机译:金刚石薄膜声表面波器件上GaAs器件的ELO键合
机译:SiO2薄膜和LiNbO3衬底在温度补偿声表面波器件中的杂散波响应研究
机译:声电对涂有电纺ZnO纳米结构薄膜的声表面波传感器的响应的影响
机译:基于ScAlN薄膜的高性能声表面波器件的研究。
机译:在蓝宝石衬底上使用mOCVD ZnOpeompressive薄膜开发高频声表面波器件
机译:用于声表面波器件的复合基板,用于声表面波器件的复合基板的制造方法,以及使用复合基板的声表面波器件
机译:声表面波器件的生产方法,涉及将声表面波器件与基座结构连接在凸块上,以便将器件与基座连接
机译:利用这种声表面波器件的生产方式来制造声表面波器件
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