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用计算机辅助制图法简化SAW换能器图案掩模的制作

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本文介绍计算机辅助制图法的用途.此方法与常用的光刻原图工艺技术的主要区别是:它用墨汁在数字刻图机上绘制SAW叉指换能器掩模图案,而不用将这些图案先刻在塑料膜上.它有利于制作几何图形复杂的叉指换能器或换能器阵列.

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来源
《压电与声光》 |1985年第2期|38-41|共4页
作者
C.K.Campbell; 杨清宗;
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作者单位

加·麦克马斯特大学;

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