硅衬底上的钛酸铅薄膜微型超声传感器

摘要

将钛酸铅薄膜溅射在以硅片为衬底的微型薄膜悬臂上,已研制成了一种硅单片超声传感器.这种器件的尺寸为长和宽均约几十至几百μm（宽略小于长）.测定了频率范围直至150kHz的超声响应.给出了谐振频率、灵敏度和品质因子与某些设计参数如膜的种类和尺寸之间关系的技术数据.35kHz时典型的灵敏度和品质因子分别为-102dB和290.这种三元列阵传感器比单元传感器有着更敏锐的定向性.