关于声表面波器件的高分辨率光声显微术

摘要

本文报导了声表面波器件在76MHz光调制频率下,显微金属薄膜试验结构的光声成象,试样蒸发到YZ LiNbO3晶体表面上,用锁模染料激光束的焦斑扫描,光产生的声表面波利用谐振叉指式传感器来检测.只要焦斑位置跟对应的压电信号同步就能产生试样的高分辨率光声成象（横向分辨率为5μm）.