声表面波器件的失效机理和可靠性问题

摘要

SAW器件的应用日益广泛,它的可靠性问题也随之而引起重视.本文分析了电场、温度、材料及工艺等对器件可靠性的影响,对三种重要的失效机理即AI膜的腐蚀、迁移和LiNbO3压电晶片的微裂进行了讨论并介绍了SAW器件生产中的质量管理、可靠性试验和失效分析等.本文着重指出:要生产高可靠性的SAW器件,必须妥善处理材料、工艺中的一系列问题.