文摘选辑

摘要

＜正＞（一）声表面波技术168 在Si片上产主SAW的最佳换能器设计——（Ghijsen W.J.）《Sens. Actuators》 31（1982）51—62介绍一种在多层介质/Si上产生SAW均匀叉指换能器的最佳设计方法.通过从源到换能器最大平均功率变换的匹配条件导出的简单关系获得叉指换能器的几何形状.这种设计程序已经应用到一些ZnO/SiO2/Si和CdS/SiO2/Si层状介质的换能器结构上.