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ZnO/玻璃层状结构SAW器件的刻蚀工艺探索

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本文介绍ZnO/玻璃层状结构器件的刻蚀,Al膜和ZnO膜腐蚀溶液的选择,以及腐蚀时腐蚀液浓度,温度和时间对器件的影响.

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来源
《压电与声光》 |1985年第6期|30-32|共3页
作者
林廷芬;
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作者单位

四川压电与声光技术研究所;

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