铝的等离子体阳极氧化研究

摘要

我们用等离子体阳极氧化的方法在铝表面生成厚度为40nm左右的氧化层,等离子体由射频辉光放电产生,阳极氧化时氧气压力为6.65Pa、两极间距离为18cm、直流偏压为35V,并测得氧化时样品温度约在100℃左右。