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摘要

<正>利用LiNbO3压电基片的厚度振动模已经有效地用于体声波(BAW)换能器.换能器的中心频率确定于基片的厚度.为了制作100MHz以上工作频率的换能器,必须把基片的厚度制成几十微米以下的薄片.而且,在压电基片和传声介质之间的粘结层,也会导致换能器某些特性的下降.因此要制作这种高频换能器必须要求特殊的技术.

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    《压电与声光》 |1987年第6期|71-74|共4页
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