采用声光偏转器（AOD）的高速激光束扫描

摘要

我们在理论上和实验上研完了用声光偏转器（AOD）的高速激光束扫描的圆柱透镜的效应。结果,在高速激光束扫描过程中,发现了静态和动态圆柱透镜效应。为实现高速激光速扫描,圆柱透镜补偿是非常重要的。这种补偿的实例是改善电压-频率变换器以及在AOD后用一个圆柱透镜。利用这样的补偿方法,可抑制焦点位置对标称焦平面的偏离,若斜波信号频率为20kHz,当激光束以10m/s的扫描速度在焦平面上扫描过300μm时,可使焦点位置与标称焦平面的偏离保持在4μm以