一种新型动态配气仪研究

摘要

目的研制一种将液配气和气配气合二为一的新型动态配气仪。方法当原料气在常温下为液态时采用扩散管法,利用减重称量法计算出物质在标准扩散管的扩散速率,以空气或氮气作为载气(稀释气),通过调节其流量即可得到所需质量浓度的标准气体;当原料气在常温下为气态时采用质量流量混合法,通过精确控制原料气和稀释气的流量,加以混合后得到所需质量浓度的标准气。结果研制的样机配置的标准气浓度可达到10-9级,最大稀释比达到1∶2 000。在液配气模式的动态配气应用测试中,其精密度测试结果显示相对标准偏差(RSD)<5.00%,已达到或超过日本同类产品水平;样机气配气模式应用的精密度测试结果显示RSD<5.00%,满足仪器设计要求。结论新型动态配气仪具有液配气和气配气合二为一的功能,稳定性较高,精密度好,能长时间连续稳定发生标准气体。