微流体系统中微通道制作工艺的研究进展

摘要

微通道作为决定微流体系统性能的关键元件,其制作材料、工艺与装备是微机械领域的研究热点。现有微通道制作材料主要有硅及其氧化物、玻璃、聚合物三种。综述了不同材料微通道制作工艺的国内外研究现状,包括光刻、腐蚀、热压印、软化拉伸和键合等方法。讨论了现有微通道制作工艺及其设备的特征与不足,工艺过程涉及精密机械加工、化学处理、工程材料、图像处理和自动控制等众多学科,所加工微通道截面多呈矩形、三角形或半圆形,制作设备结构复杂、功能单一且成本高昂。展望了仿生微通道发展方向,简要介绍了玻璃基仿生微通道优化模型和制作设备的研究进展。