封闭式柱形微型惯性冲击压电马达

摘要

针对精密仪器及微小型设备对线性微进给驱动马达的需求,该文设计了一种封闭式柱形微型惯性冲击压电马达,并验证了马达工作原理的可行性。制作出马达样机并进行实验测试,结果表明,施加预紧力为0.25 N,驱动信号锯齿波电压峰-峰值为50 V,频率为500 Hz时,马达空载输出最大速度为6.19 mm/s,步进分辨率为12μm;施加预紧力为0.5 N,驱动信号电压峰-峰值为50 V,频率为500 Hz时,最大负载为20 g。