溅射参数对(Zr,Ti)N复合镀层耐蚀性的影响

摘要

用真空磁控溅射技术,在Q235钢的基底上沉积(Zr,Ti)N复合镀层,改变溅射工艺参数(温度、Ar/N2流量比、基体偏压)制成8个镀层耐蚀性对比试样,用PS-268A型电化学测试仪,在3.5%的NaCl电解质溶液中腐蚀30～60 min,用极化曲线和Tafel直线外推法,确定各试样的耐蚀性的差异.结果表明,溅射工艺参数对镀层的耐蚀性影响较大.从耐蚀性方面考虑,推荐工艺参数为:溅射温度350℃,At/N2流量比60/30(SCCM),基体偏压120 V.