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张永宇; 陈晓阳; 杜向阳;
上海工程技术大学机械工程学院,上海,201600;
上海大学机电工程与自动化学院,上海,200072;
微致动器; 电热; 多晶硅; 动态特性; MEMS;
机译:多晶硅级联弯束电热微致动器的宏观建模
机译:电热和横向驱动的多晶硅微致动器
机译:V形电热微致动器的动态行为分析
机译:V型和Z型电热微执行器的动态电热建模
机译:用于生物介质中的硅和形状记忆聚合物微致动器的研究。
机译:具有频率特性的中耳植入物压电致动器
机译:电热和横向驱动多晶硅微致动器的分析与优化
机译:用于可调谐电容器的CmOs / BICmOs自组装和电热微致动器
机译:致动器,其包括具有第一微致动器的致动器臂,该第一微致动器支撑读取头,并且力平衡微致动器没有任何读取头
机译:动态链接的频率特性的方法和非线性动态系统的频率特性
机译:其制造方法,微致动器阵列,微致动器装置,光学装置,显示装置,曝光装置以及装置的制造方法和微致动器
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