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王佳; 钱梁; 杨振川; 闫桂珍;
北京大学微电子学研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,北京,100871;
陀螺电学模型; CMOS-MEMS体硅陀螺; 工艺误差; 系统仿真;
机译:用于CMOS-MEMS集成应用的多晶硅层的机械特性
机译:通过多物理场仿真为集成CMOS-MEMS技术设计的电容式CMOS-MEMS传感器
机译:VHF单片集成CMOS-MEMS纵向体声谐振器
机译:探索用于干涉式光纤陀螺仪的基于绝缘体上集成硅的集成光学芯片
机译:Z轴CMOS-MEMS陀螺仪中非理想性的建模和仿真。
机译:硅集成干涉光学陀螺仪
机译:高Q硅氮化物微生物将高Q硅氮化物微度集成到绝缘体平台中的垂直集成
机译:DRIE CmOs-mEms陀螺仪的制作,表征和分析
机译:具有垂直差分感测的集成全硅电容式微型陀螺仪和控制方法以及用于制备具有垂直差分感测的集成全硅电容式微型陀螺仪的过程
机译:具有蚀刻停止层的绝缘体上硅基板,其制造方法,在其上制造的绝缘体上硅集成电路以及使用该绝缘体上硅的绝缘体上集成电路的制造方法
机译:具有蚀刻停止层的绝缘体上硅基板的制造方法,在其上制造的绝缘体上硅集成电路以及使用该绝缘体上硅的绝缘体上集成电路的制造方法
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