聚焦电子束离子束双束系统在材料科学与技术中的应用

摘要

聚焦电子束离子束双束系统由于其电子束与离子束同存于一个腔体内,可以使用电子束扫描直接了解欲加工样品的形貌并确定加工位置,转换至离子束便可以直接加工,所以在制备透射电镜样品、光子晶体、一维纳米材料电极等工艺上有不可取代的优异条件,成为微加工技术中不可或缺的重要设备.详细介绍了利用美国FEI公司的DB235系统制备透射电镜样品、光子晶体、一维纳米材料电极等新技术的工艺过程,并与其它一些相关的制备方法进行了比较.