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GaAs二维光子晶体的制作及其研究进展

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摘要

阐述了采用扫描式电子束显微镜、干蚀刻法、微影技术等现代微加工技术制作有序结构二维光子晶体的方法及其研究进展.

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来源
《中国有色金属学报》 |2004年第z3期|260-262|共3页
作者
阿不都热苏力; 森下羲隆;
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作者单位

東京都農工大学;

新疆大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类晶体学;
关键词
光子晶体; 光子禁带; 电子束微影; 干蚀刻法;

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