准分子激光器工作原理及质量保证方法和标准

摘要

目的:探讨准分子激光器质量保证的方法,及质量检测中各参数的标准.方法:通过对准分子激光器结构及工作原理的分析提出质量保证的方法,以Sacn-195型准分子激光器为例,进行维护前后两种不同性能状态下的检测.结果:依据两种性能状态下质量检测的结果的对比,提出各种检测方法适用的参数标准.结论:提出的质量保证方法及参数标准具有一定的普遍意义和参考价值.