新颖光电子集成技术——异质半导体直接键合及其在器件研制中的应用

摘要

对十年来光电子集成技术的发展作了简要的回顾。着重介绍了近年来兴起的一种新颖的集成技术－异质半导体直接键合技术的工艺和特点及其对新型光电子器件发展的推动。