低电压缴反射镜型微机械光开关的设计与制作

摘要

利用(100)硅片和偏2.5°的(111)硅片制作了静电驱动扭臂结构微反射镜型2×2光开关.微反射镜、自对准V型槽和扭臂结构是在(100)硅片上制作的,反射镜与光纤槽之间靠晶向自对准,反射镜与光轴垂直度较好.在偏2.5°的(111)硅片上制作倾斜下电极结构,实验测得的pull-in电压为13.2V,几乎比平面下电极的pull-in电压降低一半.采用准直光纤耦合,开关的插入损耗小于1.4dB,串话小于-50dB.