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加速器钛泵的原理和维护

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摘要

加速器的电子枪、加速管和速调管等器件要求在高真空条件下工作.本文介绍加速中的钛溅射离子泵的原理、结构和维护方法.

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来源
《中国医疗设备》 |2003年第10期|29-30|共2页
作者
杨绍洲;
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作者单位

南方医院,仪器科,广东,广州,510515;

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正文语种 chi
中图分类医用放射线设备;
关键词
加速器; 真空; 钛泵;

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