光滑硬质合金衬底渗硼预处理对CVD金刚石薄膜性能的影响

摘要

提高金刚石薄膜的附着力和光洁度是实现CVD金刚石涂层在工模具和耐磨器件领域中广泛应用的关键因素.采用热丝CVD法在光滑WC-Co硬质合金基体表面沉积金刚石薄膜,研究了渗硼预处理新方法对光滑衬底表面抑制Co催石墨化作用和保证金刚石涂层附着力的效果.研究结果表明,采用渗硼预处理方法既能避免研磨、刻蚀和化学腐蚀等加工方法对光滑衬底表面的严重损伤,又能有效抑制Co对金刚石薄膜的不利影响,获得了满足附着力要求的光滑金刚石薄膜,对于拓宽金刚石薄膜的应用领域具有重要意义.