一种简易扩散泵封闭式加热器

摘要

介绍了一种用电镜扩散泵的封闭式加热器。它具有结构简单，安装及检修方便，成本低廉等特点，该装置适用于ＪＥＭ－２００ＣＸ电镜及ＪＥＥ－４Ｘ真空喷镀仪配置，近年来的使用证明该装置完全可以替代原装进口封闭式加热器。