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层板式喷注器光刻工艺

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论述了为研制液体火箭发动机关键件——层板式喷注器而采用的光刻工艺技术。该项工艺技术交叉采用微电子领域的光刻技术与精密机械加工技术 ,达到了超精加工的目的

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来源
《航天制造技术》 |2000年第1期|18-20|共3页
作者
宁建华;
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作者单位

陕西动力机械设计研究所;

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正文语种 chi
中图分类制造工艺过程及设备;
关键词
液体火箭发动机; 层板式喷注器; 光刻工艺技术;

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