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郑树琳; 宋亦旭; 孙晓民;
清华大学计算机科学与技术系 智能技术与系统国家重点实验室 北京100084;
刻蚀; 三维元胞模型; 表面演化算法; 降维分量拟合;
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机译:基于三维三角形的刻蚀工艺及其应用
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机译:褶皱冲断带凸起的三维演化:从对犹他州Sevier Belt的Provo凸起的几何学,运动学和力学的研究以及三维有限元建模中获得的见解。
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机译:单自对准刻蚀工艺制备三维硅基光子晶体结构。
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