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宋汝安; 程先安; 周忠毅;
无;
机译:基板夹持器设计对微波等离子体辅助CVD生长大面积多晶金刚石薄膜应力和均匀性的影响
机译:通过微波等离子体CVD沉积大面积均匀金刚石薄膜
机译:一个915 MHz / 75 kW圆柱形腔型微波等离子体化学气相沉积反应器,梯形圆周天线开发用于种植大面积金刚石薄膜
机译:用于金刚石薄膜沉积的圆柱腔型微波等离子体CVD反应器的研制
机译:通过微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)合成和表征金刚石薄膜。
机译:微波等离子体沉积工艺中硼诱导金刚石薄膜的形貌转变
机译:磁场微波等离子体CVD法低温合成金刚石薄膜的研究
机译:微波等离子体增强纳米金刚石薄膜的合成
机译:微波等离子体产生方法,微波等离子体产生装置以及使用该装置制造金刚石薄膜的方法
机译:大面积金刚石薄膜和控制金刚石薄膜图案形成的装置和方法
机译:一种主要尺寸约为一个波长的自立式微波等离子体CVD多晶金刚石薄膜的制造方法
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