离子溅射的微区叠加原理

摘要

荷能离子轰击固体表面往往使表面产生特定的结构，因而改变溅射总产额和微分产额。这些变化是由于表面结构改变而引起的几种效应，例如弹离子入射角、形貌对发射粒子的屏蔽以及合金表面元素按微区局域富集等的影响而产生的。本文发展了一种考虑上述诸效应的理论方法，并详细讨论该方法在元素（Ｃｄ）和合金（ＡｌｘＳｎ１００－ｘ）靶实验微分产额方面的应用。