Ni离子注入多晶ZrO2的表面电性能和结构

摘要

对氧化钇（Ｙ２Ｏ３）部分稳定氧化锆（ＺｒＯ２）样品在室温下进行了Ｎｉ离子注入（１４０ｋｅＶ，５×１０＾１５－２×１０＾１７ｉｏｎｓ／ｃｍ＾２）和热退火处理。应用电学测量，Ｒｕｔｈｅｒｆｏｒｄ背散射技术（ＲＢＳ），Ｘ射线光电子能谱（ＸＰＳ）和喇曼光谱方法研究了Ｎｉ离子注入多晶ＺｒＯ２的表面电性能，注入层结构及其热退火的影响。