圆柱模型下电子回旋共振微波等离子体离子输运过程的数值研究

摘要

在圆柱模型下，采用Ｍｏｎｔｅ Ｃａｒｌｏ方法模拟了电子回旋共振微波等离子体源中离子离开放电室后历经中性区，鞘层以及工件表面二次电子发射形成的虚拟阴极“屏蔽区”，最后被加负偏压的工件表面吸收的全过程。研究鞘层边界处的衔接问题，得到了光滑自洽的电势分布曲线及工件表面离子的能量分布和角分布，同时讨论了磁场，气压以及二次电子发射对鞘势的影响。