中国科学院半导体研究所微电子研究与发展中心,北京,100083;
济南大学物理系,济南,250022;
中国科学院半导体研究所微电子研究与发展中心,北京,100083;
中国科学院半导体研究所微电子研究与发展中心,北京,100083;
中国科学院半导体研究所微电子研究与发展中心,北京,100083;
中国科学院半导体研究所微电子研究与发展中心,北京,100083;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;
中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050;