射频激励等离子体非线性效应的FDTD数值模拟

摘要

在考虑热运动、电子复合、扩散等效应后,建立电磁波与等离子体相互作用模型,验证了射频激励等离子体时产生的二次、多次谐波以及各个不同频段信号的调制现象,得到了不同激励功率、产生电子的电场阈值、电子能量等参数对电磁波频谱的影响,这对于射频激励等离子体的电路匹配、耦合器件以及等离子体天线传输、电磁兼容等设计很有帮助.